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MEMS技術是在現代微電子技術基礎上發展起來的一門新興科學技術，它融合了微電子與精密機械制作技術，是將微傳感器、微執行器以及微信號處理與控制電路、通信、電源集成于一體的微型機電系統。采用MEMS技術的地震傳感器有著傳統地震傳感器不可比擬的優勢。如：檢測靈敏度高、精度高、響應范圍大，檢測快速等。
在電梯行業中，電梯地震傳感器是一個小眾產品，但又是一個關鍵部件。美、日、歐盟等國外發達國家制定的標準中都對電梯地震傳感器有著相應的要求。
地震傳感器一般分為兩類，一類是傳統的機械式傳感器，一類是電子式傳感器，多為采用MEMS加速度傳感器。前期多采用機械式傳感器，技術相對成熟，雖然電子式傳感器有著許多先天的優勢，更新換代需要一個相當長的時間。美國和歐洲的一般采用電子式的地震傳感器。
目前，電子式地震傳感器一般采用MEMS技術的低噪聲、高靈敏度三軸加速度傳感器，來采集地震加速度，輸出相應的電信號，通過低通濾波濾除高頻干擾，然后經由高精度模數轉換器送給微處理器，微處理器對數據進行分析，判斷地震事件是否發生，如有地震事件則進行相應的觸點輸出，并記錄地震發生信息。
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