半導體壓敏電阻式進氣歧管絕對壓力傳感器

半導體壓敏電阻式進氣歧管絕對壓力傳感器由壓力轉換元件（硅膜片）和把轉換元件輸出信號進行放大的混合集成電路組成。

壓力轉換元件是利用半導體的壓阻效應制成的硅膜片。硅膜片的一側是真空室，另一側導入進氣歧管壓力，所以進氣歧管內絕對壓力越高，硅膜片的變形越大，其變形量與壓力成正比。附著在薄膜上的應變電阻的阻值則產生與其變形量成正比的變化。利用這種原理，可把進氣歧管內壓力的變化變換成電信號。

一般此種傳感器與 ECU有3根導線相連：ECU向傳感器供電的電源線，供電電壓一般為4.8-5.1V，傳感器的信號輸出線和傳感器的接地線。在發動機怠速運轉時，進氣歧管的真空度高（絕對壓力低），傳感器的電阻值大，傳感器輸出1.5-2.1V的低電壓信號；當節氣門全開時，歧管真空度低（絕對壓力高），傳感器電阻小，傳感器輸出3.9-4.8V的高電壓信號。

真空膜盒傳動的可變電感式進氣歧管絕對壓力傳感器

真空膜盒傳動的可變電感式進氣歧管絕對壓力傳感器主要由膜盒、鐵心、感應線圈和電子電路等組成。

膜盒是由薄金屬片焊接而成，其內部被抽成真空，外部與進氣歧管相通。外部壓力變化將使膜盒產生膨脹和收縮的變化。置于感應線圈內部的鐵芯和膜盒聯動。感應線圈由2個繞組構成，其中一個與振蕩電路相連，產生交流電壓，在線圈周圍產生磁場，另一個為感應繞組，產生信號電壓。當進氣歧管壓力變化時，膜盒帶動鐵心在磁場中移動，使感應線圈產生的信號電壓隨之變化。該信號電壓由電子電路檢波、整形和放大后，作為傳感器的輸出信號送至電控單元（ECU）。

由于這種傳感器是利用12V電源完成變壓作用的，所以拔下插座就無法檢查傳感器的好壞。檢測時，將萬用表（電壓擋）的表筆分別插入導線連接器與兩端子接觸，測量其輸出電壓。測量方法如下：在不動插座的情況下閉合點火開關(ON)，將萬用表表筆與Vs、E端子接觸。在開放真空管道、加上大氣壓的情況下，電壓值約為1.5V，而在用嘴巴對真空管道吸氣的情況下，電壓值應從1.5V起向降低方向變化；發動機怠速運轉時，電壓值約為0.4V ,而當發動機轉速升高時，此電壓值也升高。

頻率型壓力傳感器

電容式進氣壓力傳感器

電容式進氣壓力傳感器是用氧化鋁膜片和底板彼此靠近排列形成電容，利用電容膜片上下壓力差而改變的性質，獲得與壓力成正比的電容值信號。將電容連接到傳感器混合集成電路的震蕩電路中，傳感器產生可變頻率的信號。輸出頻率與進氣壓力成正比，在80.120Hz之間變化。

表面彈性波式進氣壓力傳感器

表面彈性波式進氣壓力傳感器是在一塊壓電基片上用超聲波方法加工出一個薄膜敏感區，上面刻制換能器（壓敏SAW延時線），換能器與電路組合成振蕩器。換能器是在拋光的壓電基片上設置2個金屬叉指構成，若在輸入換能叉指T1上加電信號，便由逆壓電效應在基片壽面激勵起彈性表面波，傳播到換能文指T2轉換成電信號，經放大后反饋到T1以便保持振蕩狀態。表面彈性波（SAW）在2個換能叉指之間的傳播時間即是所獲得的延遲時間，其大小取決于2個換能叉指間的距離。由于導入的進氣歧管壓力作用于壓電基片上，壓力變化將在薄膜敏感區產生應變，即使換能叉指間距離發生變化。因而，表面彈性波傳播的延遲時間相應變化。這樣，根據與延遲時間成反比的振蕩頻率，即可輸出壓力信號。

頻率型壓力傳感器信號電壓一般是5V或12V。當空氣流量變化時，電壓始終不變，而輸出的脈沖頻率發生變化，因此不能根據測量電壓高低確定流量變化。檢測時用萬用表找到壓力傳感器的頻率信號輸出線，將汽車萬用表打到“DC”擋，按SELECT功能選擇鍵轉換成“DC+Hz”擋。起動發動機逐漸加速觀察，主顯示直流電壓和副顯示上的頻率，是否隨轉速變化而變化，一般的頻率型的壓力傳感器隨著進氣量的增加頻率也在改變。