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當前,非接觸式位移傳感器技術在需要精密測量的應用領域中快速普及。客戶需要完成微米甚至亞微米級別測量,同時可以檢測無法用常規接觸檢測方式檢測的被測物體。這些材料包括硅片,玻璃,塑料,微型電子和醫療組件,以及食品表面。
非接觸位移傳感器技術的普及推動了新技術的發展,包括改造現有技術以滿足新的測量要求,并提高測量精度和分辨率。非接觸位移傳感器具有各種形狀,尺寸和測量原理。在實踐中,德國米銥公司電渦流位移傳感器,激光位移傳感器,電容位移傳感器和光譜共焦位移傳感器使用得最為廣泛。
因此,在為不同測量任務選擇最合適的位移傳感器時,工程師應該更好地理解每種位移傳感器的優點和局限性。
電渦流測量原理是一種電感測量方法。探頭中的線圈被供應交流電,這使得在線圈周圍形成磁場。如果在這個磁場中放置了一個導電物體,就會產生渦流?- 根據法拉第感應定律形成一個電磁場。控制器計算從傳感器線圈傳輸到目標材料的能量變化,并將其轉換為位移測量。電渦流位移傳感器的優點是這種測量方法可以用于所有的金屬,包括鐵磁和非鐵磁金屬。與其他技術相比,電渦流位移傳感器的尺寸相對較小,由于本質上講,電渦流位移傳感器需要測量傳感器和電纜的電阻量,溫度范圍相對允許較高。
該技術精度高,不受灰塵,潮濕,油污,高壓以及量程范圍內其他導電材料的影響。但是,輸出和線性度取決于目標的電磁特征。因此,對于高精度測量,需要對被測物進行單獨的線性化校準。電渦流位移傳感器最大電纜長度為15米。量程越大,傳感器直徑越大。
電容位移傳感器原理,傳感器和目標就像一個理想的平行板電容一樣工作。兩個平板電極由傳感器和相對的被測目標形成。如果恒定頻率的交流電流流經傳感器電容器,則傳感器上的交流電壓幅度與電容器電極之間的距離成正比。在放大器電路中同時產生一個可調節的補償電壓。兩個交流電壓解調后,差值被放大并作為模擬信號輸出。由于傳感器的結構類似于一個保護環電容,所以可以實現幾乎理想的對金屬靶的線性和分辨率。該技術還提供了高溫穩定性,因為目標的電導率變化對測量沒有影響。電容式傳感器也可以測量絕緣體。
電容位移傳感器技術對傳感器間隙中的介電常數變化非常敏感,因此在干凈,干燥的應用場合中運行效率最高。由于電纜電容對振蕩電路調諧的影響,電容位移傳感器的電纜長度也相對較短。
激光三角測量原理中,激光二極管將可見光點投射到被測物體的表面上。然后由這個點反射的散射光通過高質量的光學透鏡系統投射到CCD陣列上。如果目標相對于傳感器改變位置,則反射光投影到CCD陣列上的位置也會相應變化,從而被分析輸出傳感器距離目標的精確位置。測量數據在集成控制器中進行數字處理,然后通過模擬量(I / U)和數字量接口RS232,RS422或USB轉換成輸出量。
激光位移傳感器的優點包括小光斑,相對長的測量范圍以及傳感器和目標之間的遠安裝距離。被測物材料不會影響激光位移傳感器的測量。
激光位移傳感器三角測量法受到相對較大的傳感器設計的限制,并且傳感器需要相對干凈的光路才能可靠地工作。另外,對于鏡面反射目標,需要特定的傳感器對準/校準。
光譜共焦位移傳感器原理,該技術通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面上而工作。透鏡以特定的方式排列,即通過受控的色差使白光分散成單色光。通過工廠校準將一定的偏差分配給每個波長。光譜共焦位移傳感器測量只采用精確聚焦在目標表面或材料上的波長換算距離。
光譜共焦位移傳感器同時適合漫反射和鏡面被測物的測量。對于透明材料(如玻璃),可以實現單側厚度測量以及距離測量。而且,因為發射器和接收器被安排在一個軸上,所以避免了陰影帶來的影響。德國米銥光譜共焦傳感器提供了納米級別分辨率,幾乎不受被測物材料影響。光譜共焦位移傳感器可以實現微米級別小光斑,從而可以用于測量被測物表面的微小結構變化。德國米銥公司還提供了微型徑向和軸向版本光譜共焦位移傳感器,可用于測量深孔內部結構。
光譜共焦位移測量技術的限制包括傳感器和目標之間的有限距離。另外,光束需要一個干凈的環境。
高精度位移傳感器關鍵選擇標準:明確界定您需要衡量的是什么以及為什么;傳感器需要什么類型的環境來操作?有空間限制嗎?定制與標準現成傳感器;會在分辨率和準確性方面妥協的傳感器在應用中表現得如何?當考慮標準與定制傳感器時,傳感器精度的提高通常來自重新校準,智能集成傳感器軟件,改進機械安裝或通過更好的元件或材料制造傳感器。