壓阻式壓力傳感器的壓力丈量試驗(yàn)

一、?試驗(yàn)意圖：了解松懈硅壓阻式壓力傳感器丈量壓力的原理和辦法。

二、?基本原理：松懈硅壓阻式壓力傳感器在單晶硅的基片上松懈出P型

或N型電阻條，接成電橋。在壓力效果下，依據(jù)半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)，基片發(fā)生應(yīng)力，電阻條的電阻率發(fā)生很大改動(dòng)，致使電阻的改動(dòng)，咱們把這一改動(dòng)引進(jìn)丈量電路，則其輸出電壓的改動(dòng)反映了所遭到的壓力改動(dòng)。

三、?試驗(yàn)設(shè)備：壓力源、壓力表、壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器試驗(yàn)

模板、流量計(jì)、三通聯(lián)接導(dǎo)管、數(shù)顯單元、直流穩(wěn)壓源±4V、±15V。

四、?試驗(yàn)辦法和央求：

1、依據(jù)電子電路常識(shí)完畢電路聯(lián)接，主控箱內(nèi)的氣源有些、緊縮泵、儲(chǔ)氣箱、流量計(jì)在主控箱內(nèi)部已接好。將最為標(biāo)準(zhǔn)出的壓力表需要放置傳感器支架上面，再三通聯(lián)出接納中硬管一端的刺進(jìn)在主控板上的氣源快速插座中（留心管子拉出時(shí)再請(qǐng)用雙指按住氣源插座邊際往內(nèi)壓，則硬管可輕松拉出）。其他兩根軟導(dǎo)管分別與規(guī)范表和壓力傳感器接通。將傳感器引線插頭刺進(jìn)試驗(yàn)?zāi)０宓牟遄小?/span>

2、需要先松開(kāi)實(shí)驗(yàn)流量計(jì)下端的進(jìn)氣口調(diào)氣閥的旋鈕，去注冊(cè)流量計(jì)。?3、再合上主控箱上的氣源開(kāi)關(guān)，建議緊縮泵，此時(shí)可看到流量計(jì)中的滾珠浮子在向上浮起懸于玻璃管中。

4、逐漸關(guān)小流量計(jì)旋鈕，使規(guī)范壓力表指示某一刻度，查詢數(shù)顯表閃現(xiàn)電壓的正、負(fù)，若為負(fù)值則對(duì)調(diào)傳感器氣咀接法。

5、細(xì)心地逐漸由小到大調(diào)度流量計(jì)旋鈕，使壓力閃現(xiàn)在4—14KP之間，每上升1KP分別讀取壓力表讀數(shù)，記下相應(yīng)的數(shù)顯表值。?6、核算本系統(tǒng)的靈敏度和非線性過(guò)失。

五、?思考題：

假定本試驗(yàn)設(shè)備要成為一個(gè)壓力計(jì)，則有必要對(duì)其進(jìn)行標(biāo)定，怎么標(biāo)定？