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傳感器融合了材料科學(xué)、納米技術(shù)、微電子等領(lǐng)域的前沿技術(shù)，是新一代信息技術(shù)、高端制造裝備、新能源汽車等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的先導(dǎo)和基礎(chǔ)，也是智能交通、智能樓宇、智慧醫(yī)療、智慧基礎(chǔ)設(shè)施等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)，具有技術(shù)含量高、經(jīng)濟效益好、輻射和帶動力強等特點。傳感器技術(shù)新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)。其中，“五化”成為其發(fā)展的重要趨勢。一是可移動化，無線傳感網(wǎng)技術(shù)應(yīng)用加快。無線傳感網(wǎng)技術(shù)的關(guān)鍵是克服節(jié)點資源限制（能源供應(yīng)、計算及通信能力、存儲空間等），并滿足傳感器網(wǎng)絡(luò)擴展性、容錯性等要求。目前研發(fā)重點主要在路由協(xié)議的設(shè)計、定位技術(shù)、時間同步技術(shù)、數(shù)據(jù)融合技術(shù)、嵌入式操作系統(tǒng)技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)安全技術(shù)、能量采集技術(shù)等方面。迄今，一些發(fā)達國家及城市在智能家居、精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)、林業(yè)監(jiān)測、軍事、智能建筑、智能交通等領(lǐng)域?qū)夹g(shù)進行了應(yīng)用。二是微型化，MEMS傳感器研發(fā)異軍突起。隨著集成微電子機械加工技術(shù)的日趨成熟，MEMS傳感器將半導(dǎo)體加工工藝（如氧化、光刻、擴散、沉積和蝕刻等）引入傳感器的生產(chǎn)制造，實現(xiàn)了規(guī)模化生產(chǎn)，并為傳感器微型化發(fā)展提供了重要的技術(shù)支撐。近年來，日本、美國、歐盟等在半導(dǎo)體器件、微系統(tǒng)及微觀結(jié)構(gòu)、速度測量、微系統(tǒng)加工方法/設(shè)備、麥克風(fēng)/揚聲器、水平/測距/陀螺儀、光刻制版工藝和材料性質(zhì)的測定/分析等技術(shù)領(lǐng)域取得了重要進展。目前，MEMS傳感器技術(shù)研發(fā)主要在以下幾個方向：（1）微型化的同時降低功耗；（2）提高精度；（3）實現(xiàn)MEMS傳感器的集成化及智慧化；（4）開發(fā)與光學(xué)、生物學(xué)等技術(shù)領(lǐng)域交叉融合的新型傳感器，如MOMES傳感器（與微光學(xué)結(jié)合）、生物化學(xué)傳感器（與生物技術(shù)、電化學(xué)結(jié)合）以及納米傳感器（與納米技術(shù)結(jié)合）。三是集成化，多功能一體化傳感器受到廣泛關(guān)注。傳感器集成化包括兩類：一種是同類型多個傳感器的集成，即同一功能的多個傳感元件用集成工藝在同...
發(fā)布時間:
2017
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08
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21