
壓阻式壓力傳感器的壓力丈量試驗
一、?試驗意圖:了解松懈硅壓阻式壓力傳感器丈量壓力的原理和辦法。
二、?基本原理:松懈硅壓阻式壓力傳感器在單晶硅的基片上松懈出P型
或N型電阻條,接成電橋。在壓力效果下,依據半導體的壓阻效應,基片發生應力,電阻條的電阻率發生很大改動,致使電阻的改動,咱們把這一改動引進丈量電路,則其輸出電壓的改動反映了所遭到的壓力改動。
三、?試驗設備:壓力源、壓力表、壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器試驗
模板、流量計、三通聯接導管、數顯單元、直流穩壓源±4V、±15V。
四、?試驗辦法和央求:
1、依據電子電路常識完畢電路聯接,主控箱內的氣源有些、緊縮泵、儲氣箱、流量計在主控箱內部已接好。將最為標準出的壓力表需要放置傳感器支架上面,再三通聯出接納中硬管一端的刺進在主控板上的氣源快速插座中(留心管子拉出時再請用雙指按住氣源插座邊際往內壓,則硬管可輕松拉出)。其他兩根軟導管分別與規范表和壓力傳感器接通。將傳感器引線插頭刺進試驗模板的插座中。
2、需要先松開實驗流量計下端的進氣口調氣閥的旋鈕,去注冊流量計。?3、再合上主控箱上的氣源開關,建議緊縮泵,此時可看到流量計中的滾珠浮子在向上浮起懸于玻璃管中。
4、逐漸關小流量計旋鈕,使規范壓力表指示某一刻度,查詢數顯表閃現電壓的正、負,若為負值則對調傳感器氣咀接法。
5、細心地逐漸由小到大調度流量計旋鈕,使壓力閃現在4—14KP之間,每上升1KP分別讀取壓力表讀數,記下相應的數顯表值。?6、核算本系統的靈敏度和非線性過失。
五、?思考題:
假定本試驗設備要成為一個壓力計,則有必要對其進行標定,怎么標定?