壓力傳感器是液壓系統中最為常用的一種傳感器。

1 ?工作原理

壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應。壓電效應是某些電介質在沿一定方向上受到外力的作用而變形時，其內部會產生極化現象，同時在它的兩個相對表面上出現正負相反的電荷。當外力去掉后，它又會恢復到不帶電的狀態，這種現象稱為正壓電效應。當作用力的方向改變時，電荷的極性也隨之改變。相反，當在電介質的極化方向上施加電場，這些電介質也會發生變形，電場去掉后，電介質的變形隨之消失，這種現象稱為逆壓電效應。

壓電式壓力傳感器的種類和型號繁多，按彈性敏感元件和受力機構的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓電元件支撐于本體上，由膜片將被測壓力傳遞給壓電元件，再由壓電元件輸出與被測壓力成一定關系的電信號。這種傳感器的特點是體積小、動態特性好、耐高溫等。現代測量技術對傳感器的性能出越來越高的要求。

2 ?性能參數

壓力傳感器性能參數主要如下。

1）額定壓力范圍（MPa）：是滿足標準規定值的壓力范圍。也就是在最高和最低溫度之間，傳感器輸出符合規定工作特性的壓力范圍。在實際應用時傳感器所測壓力在該范圍之內。

2）最大壓力范圍（MPa）：指傳感器能長時間承受的最大壓力，且不引起輸出特性永久性改變。特別是半導體壓力傳感器，為提高線性和溫度特性，一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此，即使在額定壓力以上連續使用也不會被損壞。一般最大壓力是額定壓力最高值的2~3倍。

3）損壞壓力（MPa）：指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的最大壓力。

4）線性度（%F·S）：在規定條件下，傳感器靜態校準曲線與擬合直線間的最大偏差△Ymax與滿量程輸出值YSF之比的百分數稱為傳感器的線性度，即δL=±△Ymax /YSF×100％。

5）壓力遲滯（%F·S）：在室溫下及工作壓力范圍內，在同一次校準中，用對應同一輸入量的正程和逆程其輸出值間的最大偏差△Hmax與滿量程輸出值YSF的百分比表示傳感器的遲滯，即δH=±△Hmax /YSF×100％。

6）溫度范圍（℃）：分為補償溫度范圍和工作溫度范圍。補償溫度范圍是由于施加了溫度補償，精度進入額定范圍內的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。

7）靈敏度（μV/Pa）：指對被測非電量的敏感程度，用K表示。壓力傳感器靈敏度K定義為在穩定狀態下傳感器的輸出電壓變化量△Y（μV）與引起此變化的輸入壓力變化量△X（Pa）之比，即K =△Y /△X。

8)漂移：漂移是指在一定時間間隔內，傳感器輸出存在著與被測輸入量無關的不需要的變化。包括零點漂移和靈敏度漂移。其中零點漂移是指輸出偏離零值(或原指示值)?△Y0與滿量程輸出值YSF的百分比，即零點漂移=△Y0 /YSF×100％。

9)溫漂：表示溫度對傳感器輸出的影響程度。通常用溫度每變化1℃所引起輸出最大偏差△max與滿量程YFS的百分比來表示。即溫漂=[△max/YFS)/△T ]×100％，式中 △T溫度變化范圍。

其他技術參數還有重復精度、輸入電阻、輸出電阻、零點輸出、頻率響應特性等。